1、场地：地面平整，不易起灰尘，远离振动源，远离强电磁干扰

2、环境：保持环境温度0～45度，相对湿度20～60%，空气洁净度：不低于30万级（ISO Class 8）

3、供电

3.1、单机单独供电，三相五线（380V50Hz）容量10 kW

3.2、如果电网电压不稳或偏低，建议配备净化稳压电源

3.3、就近的接大地保护端子

3.4、安装漏电保护开关

4、气体气路

   4.1、气源要求，冷冻干燥压缩空气

    1、压力≥0.6MPa

    2、流量≥100L/min

    3、尘埃颗粒≤1um

    4、水压露点≤-40℃

       5、油（包括蒸汽）≤ 0.1mg/

4.2、气路接头管径

4.2.1、高压气源气管：12号管